真空中頻電源真空鍍膜設備的優缺點
本實用新型涉及一種真空鍍膜設備中頻電源電流監測裝置,包括電流測量顯示裝置和報警裝置,電流測量顯示裝置串聯在真空鍍膜設備中頻電源的電流回路上,電流測量顯示裝置包括至少一個電流測量顯示表和相應的電流波動報警設定模塊,真空中頻電源真空鍍膜設備的優缺點,電流波動報警設定模塊與報警裝置電連接。
借助本實用新型,可以從電流測量顯示表中直觀地看到真空鍍膜設備中頻電源的電流,當電流波動超過預設的電流波動報警值時,可以發出聲光報警,提醒操作人員及時進行處理,避免出現更多的次品。
渦輪分子泵是一種新型的超高真空設備,真空中頻電源通過機械作用可以獲得清潔無油。廣泛應用于表面分析系統、分子束、離子束系統、真空鍍膜以及其他需要無油真空的設備。1985年我廠研制成功的F-150分子泵為我國增加了一種新的超高真空采集設備。
泵的抽速為150升/秒,極限真空度優于10-10托,轉速可達50000轉/分。分子泵的葉輪由一臺特殊的三相異步中頻電機驅動高速旋轉。過去,水泵由中頻發電機供電。雖然它運行可靠,但噪音很大。微機控制的變頻電源為F-150分鐘
借助本實用新型,可以從電流測量顯示表中直觀地看到真空鍍膜設備中頻電源的電流,當電流波動超過預設的電流波動報警值時,可以發出聲光報警,提醒操作人員及時進行處理,避免出現更多的次品。

泵的抽速為150升/秒,極限真空度優于10-10托,轉速可達50000轉/分。分子泵的葉輪由一臺特殊的三相異步中頻電機驅動高速旋轉。過去,水泵由中頻發電機供電。雖然它運行可靠,但噪音很大。微機控制的變頻電源為F-150分鐘
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